981年，bilt被应用材料公司收购，一年后解散了bilt部门。

90年代，gca、ultratech和svg等美国光刻机公司只剩下10的市场份额，其中gca和ultratech占45，svg占1。

gca在1985、1986期间损失1亿美元，被迫裁员70，只有1000人；1988年，neralsignal以7600万美元收购了陷入财务困境的gca。随后，seatech资助gca开发krf步进器。1993年1月，neralsignal宣布其打算剥离其半导体设备公司。1993年5月，因为没有找到合适的买家，neralsignal打算关闭gca，余建国代表atic找上门……

gca浴火重生。

1988年，硅谷集团silvalleygroup，简称svg在新任命的首席执行官papkendertorossian的领导下，将公司业务扩展到光刻领域，svg曾试图从neralsignal的手里收购gca，但svg因为拿不出6800万美元现金，愿意以股票代替，交易失败，然而，svg却成功地获得了pape与ib联合开发的下一代步进扫描系统icrascan，1989年4月，pape宣布退出半导体设备业务svg于1990年还以2000万美元收购了pape的光刻业务。

1998年，ultratech最终被管理层杠杠收购，退出了光刻机制造市场，成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商，其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备，广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。

全球光刻机市场，一年只有500台左右，市场竞争激烈，优胜劣汰，如今全球只剩下5家，美国有gca和svg，日本有nikon和canon，荷兰有asl，中国有bsec。